ABB OA-ICOS GLA231 係列(liè)，支(zhī)持(chí) HF，HCI，NH₃ 的(dí)單(dān)氣體或多(duō)氣體配置：

OA-ICOS™ GLA231-EAA：NH₃ 和 H₂O 高(gāo)性能機架(jià)式(shì)分析儀

OA-ICOS™ GLA231-HF：HF 和 H₂O 高性能機架(jià)式分(fēn)析儀

OA-ICOS™ GLA231-HFHC：HCl，HF 和 H₂O 高性能(néng)機(jī)架(jià)式分析儀

OA-ICOS GLA231係列高性能機架式(shì)分析儀

概述(shù)

ABB OA-ICOS 氣體分(fēn)析(xī)儀(yí)繼承(chéng)了 Los Gatos Research 的優良傳(chuán)統(tǒng)和輝煌業績，采用離軸(zhóu)積分腔輸出光譜（OAICOS）技術，這是(shì)第四(sì)代腔增強吸(xī)收技術。

OA-ICOSTM 工業痕量氣(qì)體分析(xī)儀旨在以(yǐ)優異的靈(líng)敏度，準(zhǔn)確度(dù)，精密度(dù)和(hé)響應時間(jiān)，滿足(zú)客戶(hù)的(dí)苛(kē)刻(kè)要(yào)求。它(tā)簡單(dān)易(yì)用(yòng)，可在幾分鐘(zhōng)內(nèi)啟(qǐ)動，無(wú)需(xū)現(xiàn)場(cháng)校(xiào)準，並且(qiě)隻需極(jí)少的(dí)預防性維護(hù)。

該係列氣體(tǐ)分(fēn)析儀非常(cháng)適用於：

• 空(kōng)氣分子汙(wū)染(rǎn)（AMC）監測(cè)：用於(yú)確(què)保(bǎo)半(bàn)導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)（FAB）工藝(yì)和人員(yuán)的健康(kāng)安全

• 前(qián)開式(shì)晶圓(yuán)傳(chuán)送盒（FOUP）和(hé)氣相(xiāng)沉積(jī)室監(jiān)測與(yǔ)傳(chuán)統的(dí)光腔衰蕩光(guāng)譜技術相比(bǐ)，離軸 ICOS 技術具有(yǒu)諸多優(yōu)勢(shì)，例(lì)如(rú)：更加可靠(kào)耐用，更短測(cè)量時間(jiān)，使用(yòng)的光(guāng)腔和(hé)反(fǎn)射鏡(jìng)可現(xiàn)場(cháng)維(wéi)修。

所有(yǒu) ABB 儀器(qì)均內置(zhì)計(jì)算機(jī)（采用(yòng) Linux 操作(zuò)係統），該(gāi)計算(suàn)機會(huì)將(jiāng)每次分(fēn)析的結(jié)果(guǒ)和相關指標存(cún)儲在內(nèi)部硬盤上(shàng)，從(cóng)而實現無(wú)需(xū)人員值守的長(cháng)期運行。相關(guān)數(shù)據(jù)則可(kě)以(yǐ)通(tōng)過(guò)模(mó)擬，數字(zì)（RS232）和 ModbusTM1 的(dí)輸出(chū)方式源源不斷地(dì)導出。此外(wài)，這(zhè)係列(liè)儀(yí)器還可以通過互聯網遠(yuǎn)程控(kòng)製，用戶無(wú)需身處(chǔ)現(xiàn)場，就可以(yǐ)控製(zhì)儀器，從(cóng)儀器(qì)中(zhōng)獲取數據，以及(jí)對(duì)儀(yí)器進(jìn)行診(zhěn)斷。該係列儀器還可(kě)以保(bǎo)存所測(cè)氣體的(dí)完整光(guāng)譜(pǔ)，用(yòng)於故(gù)障(zhàng)排(pái)除，甚至在過程發生意外(wài)變動後，遠(yuǎn)程優(yōu)化分析(xī)儀。

功(gōng)能和優(yōu)勢

• 支(zhī)持 HF，HCI，NH3 的單(dān)氣(qì)體(tǐ)或多氣(qì)體配置

• 提(tí)供高(gāo)精度(dù)，準確(què)的 H2O 測量結(jié)果

• 提供(gōng) 0-5V 和(hé) 4-20 mA 模擬輸(shū)出（標配(pèi)），以(yǐ)及(jí)Modbus TCP（選(xuǎn)購）

• 優化數據處(chǔ)理，在測(cè)量(liáng)亞(yà) ppb 級(jí)別濃(nóng)度時(shí)，實現(xiàn)優異性能

• 提供(gōng)觸(chù)控數字(zì)顯(xiǎn)示屏(píng)，顯(xiǎn)示(shì)氣(qì)體濃度(dù)和分析儀的(dí)狀態

• 提(tí)供(gōng)主要密(mì)碼保護(hù)，確保(bǎo)分(fēn)析儀和(hé)數據安(ān)全(quán)

• 經過優化(huà)的零氣性(xìng)能，以(yǐ)可靠(kào)地(dì)確認過(guò)程(chéng)事件(jiàn)

• 提(tí)供(gōng)可(kě)定製的校(xiào)準套(tào)件(jiàn)和(hé)性能認證文(wén)件包

• 堅固(gù)耐(nài)用(yòng)
；所需的維護工作(zuò)很少(shǎo)並且(qiě)花(huā)費(fèi)較低(dī)

• 可(kě)輕(qīng)鬆更(gēng)換長期(qī)受(shòu)到(dào)汙染的(dí)部(bù)件（過濾器）和正常老(lǎo)化部(bù)件（泵隔膜）

• 服務(wù)工(gōng)程師(shī)可現場診斷(duàn)並更換其他大多數部(bù)件

• 鏡麵清潔(jié)可(kě)現場進行(háng)，無需在(zài)工廠費時(shí)維(wéi)修